На
Главную
ГДЗ:
Английский
язык Алгебра Геометрия Физика Химия Русский
язык Немецкий
язык
Подготовка к экзаменам (ЕГЭ) Программы и пособия Краткое содержание Онлайн учебники
Шпаргалки Рефераты Сочинения Энциклопедии Топики с переводами
Все темы:"Рефераты по Физике"
Магнетронные распылительные системы
Министерство образования Российской Федерации
Томский Политехнический Университет
кафедра английского языка
и технического перевода
Магнетронные распылительные системы
выполнил: В.В. Жуков,
аспирант, НИИ ЯФ, Лаб. 23.
Научный руководитель: В.П. Кривобоков,
профессор, заведующий Лаб. 23, НИИ ЯФ.
Томск 2001 год.
1 Введение
Целью настоящей работы является обзор конструктивных элементов
магнетронных распылительных систем (МРС), а также рассмотрение принципа их
действия и физических параметров.
Дело в том, что еще сравнительно недавно основным методом нанесения
тонкопленочных покрытий были испарение и конденсация вещества в высоком
вакууме. Методы ионного распыления материалов в следствие низких скоростей
осаждения и высоких радиационных воздействий на обрабатываемые структуры
использовались ограниченно. Появившиеся сравнительно недавно магнетронные
распылительные системы, позволяющие наносить как тонкопленочные, так и
пленочные покрытия в сотни микрон, позволили существенно расширить область
применения ионного распыления материалов.
В последние годы в нашей стране и за рубежом проведены научные
исследования и конструкторско-технологические разработки по созданию
широкого класса МРС, а также установок и линий (в том числе непрерывного
действия). Подобного рода установки нашли применение во многих областях
науки и техники. А целесообразность и эффективность их использования
доказана значительно возросшим интересом к разработке и внедрению все новых
более совершенных систем.
В настоящей работе на основе литературных источников сделан обзор
конструкций магнетронных распылительных систем, их составных частей, кратко
рассмотрены основные параметры и физические принципы работы.
Содержание
1 Введение
2 Принцип действия и рабочие параметры МРС
3 Конструкции магнетронных распылительных систем
4 Заключение
5 Conclusion
Список использованных источников
Приложение А - Рабочие и энергетические характеристики
распылительных систем
1 2 3